APR版超音波洗浄装置の革新
APR版 液晶用のポリブタジエンの版の存在を知ったのは、当時の版製造メーカーで、世界のシェア８０％を誇っていたコムラテックのK専務からである。K専務は、大変熱心にAPR版の洗浄機の必要性を説いて下さった。当時、何処も不織布で 人間が アセトンを付けて拭いて洗浄していた時代。その不織布の使用量は膨大で、その無駄を省こうと言う事もあった。いずれにしても K専務の指導が無ければ、APR版の洗浄システムの完成は、なかった。
最適な洗浄剤を捜し、洗浄実験を続けた。必要性を説かれてから4年。NMPとの出会い、APR版洗浄技術の基礎が 出来た。世界初の1号機は、日立茂原さん。お世辞にも 良い洗浄機とは、言えなかった。申し訳ない。しかしここで、APR版と言うものに 深くかかわる事が出来て、次からの成功につながった。
2号機は、シャープ多気工場。それから、AU（1号機から4号機）、エプソン、ソニー、カシオ、STLCD,日本電気・・・・。と APR版洗浄機を納入し続けた。1槽式～4槽式と発展していく。版も どんどん大型化。8世代は、当たり前になった。NMP～純水へ 至る洗浄技術は 基本特許で 抑えたあったが、仔細あり 特許を手放す事態があり、日本の後発メーカーが、販売出来るようになった。いずれにしても 世界初めてから10号機前後まで 全てAPR版洗浄機は、K専務とタッグを組んで その指導のもとで 製造販売したものである。
APR版の大型化に伴い超音波技術も 大きく進化した。４８００W～９６００W そして 現在の１４４００Wに至る技術も この版の大型化に追いつくための技術開発の結果である。超音波の周波数も ５０KHｚを基本周波とする２７５KHｚまでの 広域同時多重波を開発、版の大型化（初期継ぎ目対応）に 対応した。槽の幅も NMPの量を減らす目的もあり、７５ｍｍから１０５ｍｍと言う薄さで、APR版は、キャビティーの定在波に合わせて、下降浸漬して、超音波洗浄する。もちろん NMPは、溶剤であるから真空脱気（超音波キャビティーション強化システム］システムは 必須である。これが無ければ 超音波は 意味が無い。
2年前、インドのムンバイ近郊に 次世代液晶工場を作ると言う事で、中国製造、インド納入を計画したが、大雨で工場用地が、流され 工事が遅れ、現地に視察に行こうと計画していた矢先、テロ事件が起きた。時期がずれるとテロに巻き込まれたかもしれない。APR版洗浄機には、開発当初のような 熱い思いは 無くなったが、超音波発振器、振動子製造技術の革新を促した。中国にあふれる液晶工場、そして そこで働く多くの日本人。APR版洗浄機は、今、どんな技術の革新を 要求しているのだろうか。 楽しみである。文責：柴野
超硬チップの精密超音波エッチング技術
以前、少し古い話ですが、超硬チップの超音波エッチングをＭマテリアルさんから依頼され 開発に成功、全自動機を数台入れたのですが、その後 その超音波エッチングの技術をいかす機会になかなか恵まれず、ようやく海外から注目を集めるようになってきたので、それを機会に 超音波エッチング技術の素晴らしさを知って頂こうと思います。もちろん 技術の進歩は、早く、現在の技術レベルは、お客さまも当社も 以前より、遥かに 向上しているのは、当然です。以下は、旧実績レベルの公開可能範囲です。
超硬チップの表面に TiCN等の各種複合コートを確実にするために タングステン粒子Wとコバルト粒子Coで、出来ている表層から、硝酸を使った超音波エッチングで、Coのみを選択的に除去、選択的超音波エッチングを行います。もちろん、単純に 硝酸液に超音波を照射して、Coが 短時間に 均一に ムラなく除去出来るわけでは、有りません。それでは、逆効果です。当社の超音波キャビティーションコントロール技術と 広域同時多重波発振技術が 必須です。
当時、その硝酸のキャビティーション強化技術の開発と実用化により 硝酸濃度100分の一（従来比）、エッチング速度10倍、品質良好の評価を頂き、自動PH調整器、リンス槽、中和槽、乾燥槽を 備えた、全自動装置を 数台納入して喜ばれました。実際の使用濃度は 10分の一に しました。硝酸の消費に対しての補給が 実用的でなかったからです。
化学反応の世界で、超音波の果たす役割は、反応の促進と均一化です。しかし、それを 満足させるためには 超音波洗浄技術に対しての 誤った考えを棄て、真・超音波洗浄技術（言い方を変えるなら、球状の星雲型微小真空核群の正しい応用技術）を理解しなくては、なりません。これが出来なければ 超音波は 化学反応の局部促進と妨害だけです。一部の それゆえ、超音波は 役に立たないと言う強い考えが 有りますが、それは、間違った超音波技術の結果です。
正しい超音波技術が 理解され 化学反応の世界で 素晴らしい活躍が 出来る事を期待しています。 文責：柴野 佳英
F1エンジン・エンジンブロック・マニホールド等の完全鋳砂除去技術の進化
トヨタF1エンジンの エンジンブロック、マニホールド、オイルポッド等の 鋳物砂を一粒も残さず除去うするために 超音波鋳砂除去業務を請け負いして その期間1年半。その後 その鋳物砂完全除去用に 真空前処理型超音波鋳砂除去装置を F1用として納入。その実績をもとに商用車のエンジンブロックなどの鋳物砂除去う装置として、真空前処理型MARS-DB-25-14400を 各自動車メーカーへ納入して来ました。中国への実績も少しずつ増えています。残念な事に日本のトヨタ、ホンダさんとも F1を撤退。この技術の真髄を披露する場所を捜しています。商用車の他、FC関係他 ターボファンの鋳物除去超音波技術の確立に より強力な超音波の開発を進めています。
ディスク状フィルター、プリーツ型フィルター洗浄・再生技術
約15年前、液晶用フィルム製造用のステンレス ディスクフィルターや、プリーツ型フィルターの超音波洗浄技術の特許を取得（柴野）、富士写真フィルムさん等へ直接、あるいは、技術提携先から、納入して来ました。
デスク状フィルターは、ワークをセットすると、①上下で自動的に 中心部をシールチャックして、同時に ②真空にして フィルターの空気を除去し、③除去完了後に、脱気液を導入、④浸漬後、デスクフィルターを回転し、超音波洗浄を開始します。⑤この時、まず 内部から 水を一定時間吹き出します。逆洗・超音波です。⑥さらに設定時間後には、液を吸い込み開始し、正洗・超音波です。
つまり 空気を完全に除去した後 回転・上下遥動しつつ、正洗、逆洗も同時に行うのです。
お客様のステンレス線が ３μ以下になると ２５KHｚ～２７５KHｚの広域同時多重発振器でも ステンレス線の溶着部の破断が出てきます。そこで 当社は、同じ振動素子から 倍周波の５０KHｚ～２７５KHｚを効率よく発振させる事に成功！。納入機は、3μのステンレス線を使ったフィルターが来ると自動的に基本周波数を切り替えるようにしました。
もちろん、基本周波数を切り替えれば、液深も変えなければ、洗浄効果が 下がるだけでなく、振動素子の破損につながります。これらの 自動ディスクフィルターの単能機を 複数台並べ ロボットで ラックから自動搬送し、全自動精密デスクフィルター超音波精密洗浄システムも 完成納入して 今も活躍しています。
このような技術を持つのは 当社だけではないでしょうか。プリーツ型の5本同時自動チャック真空前処理・正洗・逆洗・精密超音波洗浄装置も 納入されています。
フィルター洗浄は、超音波洗浄の基本の積み重ねの結晶です。中途半端な秘術力では、見かけだけで 中身に意味のない機械になります。正しい超音波洗浄理論が 必要です。文責（柴野）
LED (発光ダイオード）バリ取り洗浄
LEDの製造に置いて 発生するガラエポ基板の銅箔の除去は、大変重要になっています。
もちろん LEDバックライト事業においてもその製造工程で、微細なX150倍でようやく確認できる箔の除去やひげ状バリの除去は 大変重要になります。とても人手では、出来ません。
当社は、繊細かつ強力な超音波バリ取り技術によって、LED：ガラエポ基板のはみ出した銅箔を大量に同時に除去、精密洗浄する事が出来ます。
多数、納入実績のある装置は、当社の標準機 PERION-DB-2400の微細型です。これからのLED製造に無くてはならない精密超音波バリ取り技術を 関係者に 改めて お知らせ致します。具体的納入実績のあるLEDメーカー名等、詳細は 別途お問い合わせください。（文責 柴野）
コネクターのバリ取り洗浄
現在 大変 注目を集めている分野について お知らせします。
PPS等の精密射出成型で作られるコネクターは、あらゆる分野で 大量に生産されており、その種類も 極めて多く、ますます微細化しています。その精密コネクター生産の品質管理上 最大とも言ってよい課題は、目にも見えないレベルの しかし頑固な成型バリです。超音波バリ取り洗浄は、その悩みを解決します。一回に100～10000個、成型後のコネクターを 指定のカゴに入れて、強力な超音波バリ取り洗浄装置にかけます。その時間は、約5分から。微細なバリを きれいに除去して 同時に 精密洗浄も行い終了します。
装置は 誰でも使え、消耗品は、基本的に 水。バリをろ過する20ミクロン程度の市販のフィルターも バリの量によって交換します。精密コネクターの不良削減に 大きく役立ちます。これからの精密各種コネクター生産には、超音波バリ取り洗浄装置は、欠かす事は 出来ません。
