メタルマスク超音波洗浄装置 Mms-40-1400シリーズ
驚異の洗浄力 使いやすさ
メタルマスク洗浄機の切り札
次世代型・高性能・メタルマスク超音波洗浄装置
特許出願済
動画(旧型)はこちら(youtubeにジャンプします)
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当社は、2016年に 大手自動車部品メーカー 株式会社デンソー殿と 高性能メタルマスク洗浄機の共同開発に成功。その後も、現場の意見も聞き、メンテナンスしやすい、ランニングコストの低い、より高性能のメタルマスク洗浄機の開発を続けてきました。
ますます高密度化する基板の需要に対応するため、メタルマスクも、レーザーマスク・エッチングマスク・アディティブマスクの3種類とも 高微細加工、高密度化しております。そのため 従来のシャワー洗浄を主体にした洗浄、或いは、局部的超音波照射では、厳しい洗浄レベルに 対応できなくなってきていると 考えられます。
そこで、当社は、大手自動車部品メーカーの依頼に基ずき、新しい考え方の次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置を開発、2016年1月より販売を はじめました。(株式会社 デンソー殿との名古屋市工業研究所でのシンポジューム共同発表内容は、ここをクリックください。⇒共同シンポジューム発表レジメ)
メタルマスクの必要洗浄対象部分のみを 同時に全領域、超音波振動板と超音波安定保護反射板で 挟み込み、そこへ 洗浄液を 導入します。この間約10秒。この後、当社の超音波SIRIUS-SuperMulti 40KHz基本周波~275KHzの広域同時多重波発振+SWEEP機能で、ち密な強力超音波洗浄30秒。 洗浄液は 無数の球状星雲型キャビティ(微小真空核群)が 発生して、洗浄します。超音波の発振状態は、自動的にモニターされ、異常があれば 警報が出ます。超音波密度は、最大200W/ℓ の超高密度です。洗浄性能が 保障されるので、安心してお使いいただけます。超音波の状況を数値管理することが可能な、革新技術です。(特許申請済)
2023年9月 最新メタルマスク洗浄機 発売開始です。
2020年に 超音波振動素子の社内生産を開始、振動素子の品質を大きく向上させました。 より、メンテナンスが、しやすい構造、調整もしやすい構造を目的に 新しくリニューアル致しました。ランニングコストも大きく削減。
どんなに 洗浄性能が よくても メンテナンスが しにくいと現場は困ります。このMms 新メタルマスク洗浄機は、使いやすさも追求した機種です。必要に応じて、リンス洗浄機能も付けることができます。これは、オプションです。乾燥は、エアーブロー・吸引のダブル乾燥。洗浄剤の種類により最適乾燥方法を選択します。こんなことができるのも、Mms超音波メタルマスク洗浄機だけです。
メタルマスク(Metal mask stencil) 超音波洗浄
Mms 基本装置仕様
型式 | Mms-40-1400 | |
対応サイズ | 外枠形状 | 洗浄エリア (MAX) |
736x736mm | 550x600mm | |
開口部径 | min φ0.03mm | |
使用ペースト | ソルダーペースト・メタルペースト等 (ペースト状エポキシ樹脂不可) |
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超音波 | 40~275KHz PowerSweep | |
100~1400W | ||
濾過フィルター | 3~5μmペーパーフィルター | |
洗浄剤 | PG系洗浄溶剤 | |
洗浄時間 | 約30秒~ | |
乾燥時間 | 約1分~ | |
本体寸法 | W1344 D1485 H1940 (パトライト含まず) |
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電気 | 3φ200V 4.5Kw | |
エアー | 0.4Mpa 1/2B |
※改良の為寸法等変更される場合があります。詳細はお尋ねください。