40KHz 繊細なセラミックスのバリ取り洗浄
サーミスタ、温度・湿度・風速センサー用セラミックスのバリ取り洗浄に 当社の25KHzの同時多重波超音波を使用すると、セラミックス表面が傷んだり、角が、欠けてしまって製品にならない場合がある。繊細なセラミックス表面を傷めず、バリ取りと洗浄だけできないか、超音波の周波数、超音波音圧密度を検討していたところ 40KHz~275KHzの同時多重波で、一定の音圧密度にすると、バリ取り洗浄が出来て、表面、角を傷める事がないことが分かった。
バリ取りでは、あまり、利用される事のなかった40KHz~275KHzの同時多重波超音波であるが、繊細な電子部品に有効であることが分かったので、ここに報告いたします。
(2017.09.06)