銅箔等の超音波エッチング装置について
金型に付着した銅のエッチング除去の性能を上げるため、エッチング液を連続脱気して、超音波を照射する。そうすると無数のキャビティ(微小真空核群)が発生し、エッチング速度を 大幅に上げる事が出来る。もちろん 品質も向上する。エッチング液は、硫酸と過酸化水素の混合液である。以前、超硬チップでは、硝酸の超音波エッチング装置を作り、コバルトの選択的エッチングに 威力を発揮することが出来た。塩酸の超音波エッチング装置は、超音波の振動板が、SUSのため、PPまたは、PVCの板を介して、塩酸槽に超音波を照射する。製造コスト、管理コストが、大きいため 現在塩酸の超音波エッチング装置は、受注していない。
(2015.11.01)